出展者詳細

ハイウィン (直動・メカトロ機器) 

         半導体・LED・FPD産業向けに、コンポーネントだけにとどまらないサブシステムをご提案!

製品・サービス

■ウエハ搬送ロボット (写真左上)
ハイウィンのウエハ搬送ロボットはDDモーターなど自社製主要コンポーネントを搭載し高性能とリーズナブルを両立。 経年使用でも揺るがないウエハ搬送を実現します。 2-12インチウエハに対応。 ギアなしで経年劣化が少ない設計、 また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。

■ウエハアライナー (写真左中)
ハイウィンのウエハアライナーは3軸制御の製品で、 自社製単軸ロボットモジュールを採用し、 高速、 高精度、 高剛性、 高効率および省スペースを実現できます。 内蔵式コントローラーの設計で、 外にコントローラー配置及び配線スペースが不要。 同スペックのものでは容積が業界最小です。

■超薄型DDモーター (写真左下)
業界最薄クラスのDDモーター 「DMTシリーズ」 は薄さ22mm。 圧倒的な薄さと大中空径により回転機構を省スペース化し、 装置設計の自由度UP!当社リニアモーターと組合わせて比較的容易に、 全高約250mmの高精度XYθステージを実現します。